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Medição
de ondas de luz torna os circuitos melhores
Do Nist
Vamos falar em precisão. Novas medições de
comprimentos de onda essenciais da banda de luz ultravioleta
-com precisão da ordem dos milionésimos de nanômetro- estão
entre as mais precisas já reportadas, e podem servir para
melhorar a calibragem das ferramentas de microlitografia
usadas na produção de circuitos integrados, como os que são
parte dos chips de computador.
As dimensões envolvidas são 10 mil vezes menores do que átomos
de hidrogênio, o menor de todos os átomos.
Para realizar as mensurações, físicos do Instituto
Nacional de Padrões e Tecnologia (Nist) dos Estados Unidos
usaram um espectrômetro tão sofisticado que há apenas
cinco desse tipo em operação do mundo, dois dos quais no
instituto. O espectrômetro, que separa e detecta
comprimentos específicos de onda na radiação luminosa,
oferece resolução 10 vezes melhor do que os instrumentos
semelhantes usados na calibragem de aplicações altamente
exigentes como o telescópio espacial Hubble. O trabalho foi
reportado em fevereiro em artigo no "Journal of the
Optical Society of America B".
Os cientistas mediram os comprimentos de onda da luz emitida
por átomos de ferro, germânio e platina estimulados. Esses
elementos foram usados como padrões de referência para os
lasers excímeros de calibragem de fluoreto de argônio, que
estão entre as mais recentes ferramentas para a impressão
de circuitos em bolachas de silício. Os lasers de fluoreto
de argônio podem ser sintonizados em uma faixa de cerca de
0,7 nanômetro, centrada em 193,4 nanômetros. A calibragem
precisa garante que a luz do laser tenha o foco requerido
para produzir os padrões de circuitos desejados. Calibragem
melhorada seria uma maneira de ajudar o setor de
semicondutores a produzir circuitos menores.
As mensurações foram financiadas parcialmente pela Lambda
Physik, grande fornecedora de lasers para aplicações
microlitográficas. Os resultados do programa foram
incorporados a sistemas laser comerciais.
Tradução:
Paulo Migliacci
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